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當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心其他設(shè)備AMC監(jiān)測(cè)獵戶座 3100S空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)快速監(jiān)測(cè)、報(bào)警、極低濃度測(cè)量、寬測(cè)量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應(yīng)等是半導(dǎo)體工業(yè)要求之一。深紫外光刻工藝特別關(guān)注氨、胺類、N-甲基毗咯烷酮NMP、酸類等濃度測(cè)量,當(dāng)這些氣體與化學(xué)放大光刻膠反生反應(yīng) 時(shí),將深深的影響半導(dǎo)體器件質(zhì)量。

產(chǎn)品型號(hào):獵戶座 3100S
更新時(shí)間:2024-08-29
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
訪問(wèn)量:1041
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品牌杜克泰克產(chǎn)地國(guó)產(chǎn)

獵戶座3100系統(tǒng):完善的空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)空氣分子污染(AMC )對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程極為重要。

快速監(jiān)測(cè)、報(bào)警、極低濃度測(cè)量、寬測(cè)量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應(yīng)等是半導(dǎo)體工業(yè)要求之一。深紫外光刻工藝特別關(guān)注氨、胺類、N-甲基毗咯烷酮NMP、酸類等濃度測(cè)量,當(dāng)這些氣體與化學(xué)放大光刻膠反生反應(yīng) 時(shí),將深深的影響半導(dǎo)體器件質(zhì)量。

 

傳統(tǒng)古老的方法多采用間接測(cè)量分析方法。包括撞擊濾塵器、離子色譜、化學(xué)熒光法,這些方法分析速度太慢,操作過(guò)程太復(fù)雜,昂貴并且測(cè)量結(jié)果不精確。

 

CEAS (腔增強(qiáng)吸收光譜)---原理

基于CEAS(腔增強(qiáng)吸收光譜)技術(shù)的儀器原理圖,使用近紅外波段光進(jìn)行高靈敏度吸收測(cè)量,測(cè)量腔室由一組高反射率多次反射鏡片組成的柱狀體構(gòu)成,激光束經(jīng)過(guò)固態(tài)校準(zhǔn)器(FSR=2.00GHz)時(shí)會(huì)測(cè)量得到相對(duì)激光波長(zhǎng)。為了保證清晰度,忽略了原本照射到左側(cè)測(cè)量單元腔鏡外的光束。

 

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